Алгоритм определения основных параметров турбомолекулярного вакуумного насоса

Ключевые слова: турбомолекулярный вакуумный насос, быстрота действия насоса, предельное остаточное давление, вероятность перехода, метод Монте-Карло.

Аннотация

Разработан алгоритм расчета основных параметров турбомолекулярного вакуумного насоса (ТМН) в молекулярном режиме течения газа. Расчет основан на использовании метода Монте-Карло (методе пробной частицы). Проведено статистическое моделирование процесса переноса молекул газа через межлопаточный канал в молекулярном режиме течения газа. Была проведена верификация полученных данных путем сравнения их с теоретическими данными.

Keywords: turbomolecular vacuum pump, pumping speed, ultimate pressure, transition probability, Direct Simulation Monte Carlo (DSMC)

Abstract

An algorithm for calculating the main parameters of a turbomolecular vacuum pump (TMP) in the free molecular regime has been developed. The calculation is based on Direct Simulation Monte Carlo method (test particle method). Statistical modelling of the transfer of gas molecules through the blade channel in the free molecular regime of gas flow has been carried out. The obtained results were verified by comparing them with theoretical data.