Параметры газового разряда с горячей титановой мишенью в среде аргона

Ключевые слова:

Аннотация

В данной работе выполнено моделирование газового разряда магнетрона с горячей мишенью в среде аргона с помощью программного пакета COMSOL Multi physics. Результаты моделирования указывают на различия параметров разряда при использовании холодной и горячей мишеней. Концентрация электронов и атомов возбужденного аргона была выше для разряда с горячей мишенью. Но электронная температуру в этом случае оказалась ниже.

Keywords:

Abstract

A magnetron gas discharge model with hot target in argon is created using COMSOL Multi physics software package. Result of this modeling show the differences of discharge parameters with cold and hot targets. Concentration of electrons and exited argon atoms was higher for discharge with the hot target. But in this case the electron temperature was lower.