Теоретические аспекты роста многокомпонентных кристаллических тонкопленочных покрытий из газовой фазы

Ключевые слова:

Аннотация

В работе предложены теоретические модели для описания роста кристаллических тонких плёнок многокомпонентных соединений из газовой фазы по механизмам Бартона-Кабреры-Франка и Чернова. Получены аналитические выражения для нахождения зависимости скорости роста таких плёнок от условий роста, парциальных давлений различных компонентов и температуры. Полученные результаты могут быть использованы для оценки скорости роста различных многокомпонентных кристаллов и тонких плёнок без проведения натурных экспериментов.

Keywords:

Abstract

Theoretical models for describing the growth of crystalline thin films of multi-component compounds from the gas phase by the mechanisms of Barton-Cabrera-Frank and Chernov are proposed. Analytical expressions are obtained for the dependence of the growth rate of such films on the growth conditions, partial pressures of various components, and temperature. The obtained results can be used to estimate the growth rate of various multi-component crystals and thin films without conducting real experiments.