Математическое моделирование геометрических и электрических характеристик островковых тонких пленок на начальных стадиях роста

Ключевые слова:

Аннотация

Приведены области применения металлических островковых наноструктур в науке и технике. Проведены экспериментальные исследования для отработки режимов формирования металлических тонких пленок. Представлен принцип контроля начальных стадий роста по изменению туннельного тока между островковыми наноструктурами. Получены серии образцов ОТП меди и алюминия, толщины которых измерены на атомно-силовом микроскопе. Смоделированы зависимости геометрических и электрических характеристик тонких пленок и ОНС от параметров технологического процесса.

Keywords:

Abstract

The metal island nanostructures application fields in science and technology are presented. Experimental studies are carried out using the UVN-1M vacuum unit to test the metal thin films formation modes. The control principle at the initial stages of growth on the tunneling current change between the island thin films is presented. Series of copper and aluminum ITF samples are obtained. The derived samples thicknesses are measured using an atomic-force microscope. As a result, the geometric and electrical characteristics dependence of thin films and island nanostructures on the process parameters are simulated.