Контроллер для получения и управления газовой смесью в технологическом вакуумном оборудовании

Ключевые слова:

Аннотация

Рассмотрен вопрос получения многокомпонентной газовой смеси из нескольких однокомпонентных стандартных источников газов. Решалась задача высокоточного поддержания процентного соотношения составных частей смеси при сохранении заданного давления в рабочей камере вакуумного оборудования. Показана методика экспериментального подбора коэффициентов ПИД-регулирования при работе контроллера газовой смеси.

Keywords:

Abstract

The article considers the issue of obtaining a multi-component gas mixture from several one-component standard gas sources. The problem of high-precision maintenance of the percentage ratio of the components of the mixture while maintaining the specified pressure in the working chamber of the vacuum equipment is solved. The method of experimental selection of PID-control coefficients during operation of the gas mixture controller is shown.