Вакуумный актуатор на основе диэлектрического эластомера с кварцем в качестве наполнителя

Ключевые слова:

Аннотация

Современное оборудование часто требует прецизионного перемещения объектов как при атмосферном давлении, так и в условиях вакуума. Вакуумное оборудование подвергаются целому ряду внешних возмущений, которые негативно сказываются на технологическом процессе и непосредственно влияют на качество изготовляемой продукции. Перспективная разработка в данной сфере - актуаторы на основе диэлектрических эластомеров, отличающиеся малым временем реакции (миллисекунды), простой и дешевой реализацией. Успешная реализация зависит от понимания его поведения и свойств, зависящих от выбора материалов матрицы и наполнителя. Чаще всего, в качестве наполнителя используется дорогостоящий титанат бария. В данной работе рассматривается вариант использования кварца как более дешевого наполнителя.

Keywords:

Abstract

Modern equipment requires precision movement of objects both at atmospheric pressure and in vacuum conditions. In addition, vacuum equipment is subject to a variety of external disturbances that adversely affect the process and directly affect the quality of the manufactured products. Prospective development in this area are actuators based on dielectric elastomers, characterized by a short reaction time (milliseconds), simple and cheap implementation. Successful implementation depends on the understanding of its behavior and properties depending on the choice of matrix and filler materials. Most often, expensive barium titanate is used as a filler. This paper discusses the use of quartz as a cheaper filler.