Исследование параметров топологии поверхности полиэтилентерефталата (ПЭТФ), модифицированной в плазмообразующей смеси C6H12 – CF4

Елинсон В.М., Кузькин В.И.
Ключевые слова:

Аннотация

Методами АСМ проведено исследование топологии поверхности полиэтилентерефталата, модифицированной в плазмообразующей смеси  C6H12 – CF4. Представлены зависимости основных параметров шероховатости от соотношения газовых компонентов. Описано влияние состава плазмообразующей смеси при формировании фторуглеродного покрытия на величину этих параметров.

Parameters of the of polyethylene terephthalate (PET) surface topology modified in the plasma-forming mixture C6H12 – CF4.

Elinson V.M., V.I.Kuzkin
Keywords:

Abstract

The study of polyethylene terephthalate suface topology(PET) modified in the plasma-forming mixture C6H12 – CF4 was carried out by AFM methods. The dependences of the main parameters of the roughness on the ratio of gas components are presented. The influence of the composition of plasma-forming mixture by the formation of fluorocarbon coating on the value of these parameters is described.