Исследование процесса формирования и физико-химических характеристик углеродных покрытий, полученных при помощи НЧ-плазматрона атмосферного давления

Ключевые слова:

Аннотация

В данной работе представлены результаты исследований характеристик углеродных покрытий, полученных при помощи низкочастотного плазматрона атмосферного давления. Показана возможность локального формирования покрытий. Исследовано влияние технологических характеристик процесса осаждения из газовой фазы на получаемые покрытия. Методом РФЭС установлен химический состав полученных покрытий. Исследованы спектры фотопоглощения и рассчитана ширина запрещённой зоны по методу Тауца.

Keywords:

Abstract

This paper demonstrates the results of the study of properties of carbon coatings produced by low frequency plasmatron at atmospheric pressure. The possibility of local formation of coatings is revealed. The relations of technological parameters of PECVD to carbon coatings forming are studied. The chemical composition of obtained coatings is being revealed by X-ray photoelectron spectroscopy. Spectra of photo-absorption are investigated and the width of band gap is calculated by means of the Tautz method.