Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости

Ключевые слова:

Аннотация

Проведено исследованиевлиянияускоренного ионно-кластерного пучка  аргона на  морфологию поверхностейоптического стекла и нержавеющей стали. Изучены зависимости спектральной плотности мощности шероховатости от пространственной частоты и среднеквадратичной шероховатости от дозы облучения. Среднеквадратичная шероховатость нержавеющей стали уменьшается в 5,5 раза, а оптического стекла – в 4,5 раза. Показана возможность получения материалов с субнанометровой шероховатостью поверхности. Дальнейшее понижение шероховатости нержавеющей стали ограничивается микрогранульной анизотропной структурой обрабатываемого материала.

Keywords:

Abstract

The influence of accelerated argon gas cluster ion beam on the surface morphology of optical glass and stainless steel is investigated. The spatial frequency dependence of the power spectral density of roughness and the dose dependence of the root-mean-square roughness are studied. The root-mean-square roughness of stainless steel is reduced by 5.5 times and the optical glass by 4.5 times. The possibility of obtaining materials having subnanometric surface roughness is shown. Further reducing the roughness of stainless steel is limited by the microgranular anisotropic structure of the material being processed.