Результаты сличений мембранно-ёмкостного преобразователя с электростатической автокомпенсацией

Ключевые слова:

Аннотация

В работе приведены результаты сличений мембранно-ёмкостного преобразователя с электростатической автокомпенсацией (МЕПК), входящего в состав первичного эталона единицы низкого абсолютного давления. Сличения МЕПК (без активной термостабилизации и динамического режима напуска газа в его измерительную камеру) были проведены с высокоточными вакуумметрами  Baratron 698 и Baratron 690 в диапазоне давлений ~ 0,1 – 13 Па. Погрешность сличений МЕПК с перечисленными средствами измерений давления в указанном диапазоне не превысила 4%.

Keywords:

Abstract

The paper presents the results of comparisons membrane capacitive transducer with electrostatic compensation (MCTC) that is a part of primary standard unit of low absolute pressure. Comparisons of MCTC (without active thermal stabilization and dynamic mode of gas inlet into measuring chamber) were conducted with high precision vacuum gauges (Baratron 698 and Baratron 690) in the pressure range of 0,1 – 13 Pa. The accuracy of comparisons of MCTC with the aforementioned means of pressure measurement in the specified range did not exceed 4 %.