Вакуумный ввод поступательного перемещения на основе тонкостенной резиновой оболочки.

Ключевые слова:

Аннотация

Вакуумный ввод поступательного перемещения герметизируется при помощи тонкостенной резиновой оболочки (ТРО). Длина перемещения вакуумного ввода в два раза превышает длину резиновой оболочки. Преимуществом ТРО является также незначительная сила сопротивления перемещению, меньшая, чем у сильфона, что позволяет сократить погрешность позиционирования. Однако ТРО является самым ненадежным элементом вакуумного ввода, что является основанием для проведения исследований её долговечности. Теория и экспериментальные результаты позволили получить уравнение для расчета долговечности ТРО при действии вакуумной среды или повышенной разности давлений. Рассчитан также поток газа через трещину в ТРО.

Keywords:

Abstract

The vacuum linear motion feedthrough is based on thin wall rubber sealing element (TRE). The length of this movement is two times more than the rubber wall length. The main advantage of device is negligible resistance force that is less than the mentioned one in sealing bellows that leads to positioning error decreasing. Nevertheless, the thin wall rubber sealing element of the feedthrough is the main unreliable element which is the reason of this element longevity research. The theory and experimental results help to create equation for TRE longevity calculation.