Исследование платформы для активной виброизоляции вакуумного оборудования

Ключевые слова:

Аннотация

В работе приведены результаты экспериментальных исследований платформы для активной виброизоляции вакуумного оборудования, в которой используются активные демпферы на основе магнитореологических (МР) эластомеров. Платформа может быть также использована как привод точного позиционирования. Свойства МР эластомера используются для регулирования параметров точности и динамики активных демпферов. Для решения этих задач была экспериментально исследована работа активных демпферов при резонансе в пассивном и полуактивном режимах.

Keywords:

Abstract

The paper presents the results of experimental research of platform for active vibration control of vacuum equipment, which uses active dampers based on magnetorheological (MR) elastomers. The platform can be used also as actuator for precise positioning. The properties of the MR elastomer are used to control precision and dynamics parameters of the active damper. The active damper at resonance in passive and semi-active modes was experimentally investigated.