Влияние ионно-плазменной обработки на характеристики эластичного сегнетоэлектрического датчика температуры
Мальцев В.С., Сидорова С.В., Фельде А.А.
Ключевые слова: СЕГНЕТОЭЛЕКТРИК, ИОННАЯ ОБРАБОТКА, ПЛАЗМА, ЭЛАСТОМЕР, ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ, ТЕМПЕРАТУРА, ЕМКОСТЬ
Аннотация
Сегнетоэлектрики – это кристаллические диэлектрики, обладающие спонтанной электрической поляризацией, то есть электрическим дипольным моментом, в определенном диапазоне температур и в отсутствие внешних электрических полей. Спонтанная поляризация сегнетоэлектриков может существенным образом изменяться под влиянием внешних воздействий: электрических полей, давления, температуры и других внешних факторов.На основе сегнетоэлектриков, благодаря их уникальным свойствам, производят различные датчики, в том числе датчики температуры. Интегрирование частиц сегнетоэлектрика в эластомер позволяет создать эластичный (гибкий) датчик, что увеличивает возможности его применения и обеспечивает плотное прилегание датчика к измеряемой поверхности.
Предложено проводить поляризацию титаната бария в составе эластомера в плазме. Это необходимо для проявления свойств сегнетоэлектрика в датчике температуры.
Целью работы является исследование влияния ионно-плазменной обработки в вакууме на характеристическую зависимость емкости от температуры чувствительного элемента.
В результате проведенных исследований следует отметить, что обработка ионным лучом не оказывает влияния на поляризацию чувствительного элемента, поэтому нецелесообразно использовать ее в этих целях. Плазменная обработка влияет на чувствительность датчика в зависимости от режима процесса. При большей мощности элемент лучше проявляет свои пироэлектрические свойства.
The ion plasma treatment effect on elastic ferroelectric temperature sensor characteristics
Maltsev V.S., Sidorova S.V., A.A. Felde
Keywords: FERROELECTRIC, ION PROCESSING, PLASMA, ELASTOMER, TEMPERATURE SENSOR, TEMPERATURE, CAPACITY
