Функциональные слои для гибкой прозрачной электроники
Абдуев А.Х., Генералов Д.В., Николаева Д.В., Беляев В.В., Саенко В.В., Сметанин Е.А., Хань Ци
Ключевые слова: ПРОЗРАЧНЫЕ ЭЛЕКТРОДЫ, ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ, МАГНЕТРОННЫЙ СИНТЕЗ
Аннотация
Исследованы процессы низкотемпературного синтеза функциональных слоев для устройств прозрачной электроники. Изучены процессы зарождения, коалесценции и роста слоев в условиях, далеких от равновесных.Рассмотрены механизмы формирования сложной структуры границ зерен в однородных легированных оксидных поликристаллических слоях, в многослойных оксидах и в структурах «оксид/металл». Рассмотрены процессы формирования квантовых ям на границах диэлектрических слоев ZnO/Al2O3 с ростом электропроводности структур на несколько порядков.
Особое внимание уделено изучению путей формирования функциональных слоев на основе многослойных структур для формирования каналов МДП транзисторов в активноматричных структурах и синтеза прозрачных электродов в системах отображения информации.
Проанализированы перспективы дальнейшего увеличения подвижностей носителей заряда в периодических структурах на основе вложенных пар слоев «оксид/полупроводник».
Создание функциональных слоев (структур) для прозрачной электроники нового поколения связано с исследованиями и построениями моделей формирования наноструктурированных, рентгеноаморфных и аморфных ультратонких компонентов на основе нестехиометричных оксидных слоев и структур со сложной архитектурой. Проанализированы модели формирования названных структур и механизмы транспорта носителей в них.
Работа была выполнена в рамках гранта РНФ 22-19-00157.
Functional thin films for flexible transparent electronics
Abduev A.Kh., D.V.Generalov, D.V.Nikolaeva, V.V.Belyaev, V.V. Saenko, E.A. Smetanin, Qi Han
Keywords: INTERACTIVE PROTOTYPES, QUINTESSENCE, MARKETING
