Cтенд поляризации ПВДФ пленки в плазме тлеющего разряда
Моисеев К.М., Басов Б. А., Макарова К. Т., Осипков А. С.
Ключевые слова: ПОЛЯРИЗАЦИЯ, ПВДФ, ПОЛИМЕР, ПЛАЗМА ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА, ПЬЕЗОКОЭФФИЦИЕНТ
Аннотация
Работа посвящена разработке стенда поляризации гибких сегнетоэлектрических полимерных пленок на основе поливинилиденфторида (ПВДФ) в плазме тлеющем разряде на базе малогабаритной установки плазменной обработки МРС.Установка МРС оснащена высоковольтными вакуумными токовводами, что необходимо для создания высоковольтного тлеющего разряда, внутренней фторопластовой рамой, в которой устанавливаются электроды, позволяющей между вакуумными циклами изменять расстояние между электродами от 5 до 140 мм. Помимо диодной конфигурации системы электродов с катодом и анодом предусмотрена возможность применения триодной системы, состоящей из верхнего электрода, сетки, управляющей потенциалом накапливаемого заряда на поверхности пленки, и нижнего заземленного электрода. Также стенд оборудован термопарой и зондом Ленгмюра.
Проведены процессы поляризации образцов неполяризованной ПВДФ пленки производства Poly-K (США). С помощью d33-метра Sinocera YE2730 (КНР) получены средние значения пьезокоэффициента d33 более 10 пКл/Н обработанных в плазме тлеющего разряда образцов с нанесенными на обе стороны магнетронным методом медными электродами толщиной 300 нм и диаметром 10 мм.
Glow discharge plasma system for PVDF film polling
Moiseev K.M., B. A. Basov, К. Т. Makarova, A. S. Osipkov
Keywords: PVDF, POLARIZATION, GLOW DISCHARGE, PIEZOELECTRIC EFFECT
