Влияние технологических режимов на характеристики изделий на основе LTCC
Сидорова С.В., Хохлун С. А., Сидоров А. И.
Ключевые слова: LTCC, НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ КЕРАМИКА, ИЗОСТАТИЧЕСКОЕ ПРЕССОВАНИЕ, ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация
В современной промышленности наблюдается возрастающий интерес к использованию низкотемпературной совместно обжигаемой керамики (LTCC), обладающей высокими показателями электрических характеристик и стабильностью работы в СВЧ-диапазоне. Существенным параметром, отвечающим за качество изделия, является усадка керамики в результате комплекса технологических операций. Кроме этого, внимание уделяется улучшению качества поверхности керамики, что является важным для последующих этапов. Улучшение обозначенных характеристик возможно после выявления зависимостей геометрических и физических параметров от технологических режимов и внедрения их в технологию производства изделий.Целью работы является исследование влияния технологических режимов на геометрические и физические характеристики LTCC.
Для отработки режимов комплекса операций (изостатического прессования и отжига) получена серия образцов из LTCC, и оценено измерение геометрических размеров до и после отжига.
Кроме того, полученные образцы были исследованы на гониометре для оценки гидрофильности поверхности LTCC после спекания. Для влияния на гидрофильность поверхности было предложено использовать плазменную обработку. Плазменная обработка проведена на установке TRION SIRUS T2, находящейся на кафедре МТ-11 МГТУ им.Н.Э. Баумана.
По результатам измерений усадки образцов и оценки угла смачивания были получены уравнения регрессии, описывающие зависимость обозначенных параметров от режимов изостатического прессования и плазменной обработки, соответственно.
Technological modes on the LTCC-based products characteristics influence
Sidorova S.V., S.A. Khokhlun, A.I. Sidorov
Keywords: LTCC, LOW-TEMPERATURE CERAMIC, ISOSTATIC LAMINATION, PLASMA ETCHING
