Ионно-плазменная обработка в вакууме эластичных материалов
Сидорова С.В., Фельде А.А. , Ежова П.А.
Ключевые слова: ионная обработка, плазма, эластомер, эластичные материалы, атомно-силовая микроскопия
Аннотация
Во многих сферах современной жизни востребованы эластичные материалы, которые обеспечивают гибкость, отличаются своими изоляционными и демпфирующими свойствами. Наиболее распространенные примеры устройств на основе эластичных материалов – актуаторы и тактильные датчики различного назначения. В таких устройствах необходимо обеспечить подвод напряжения с помощью электродов. При этом функциональность зависит от качества сцепления материала электрода и эластомера. Для улучшения сцепления применяется предварительная ионно-плазменная обработка, которая модифицирует поверхность эластичного материала, улучшая его адгезионные свойства.Ионно-плазменная обработка в инертном газе – физическое распыление высокоэнергетическими ионами газа без химического взаимодействия между ними и частицами подложки. Она может использоваться для получения микрорельефа, полировки, и для модификации и легирования поверхностных слоев деталей.
Целью данной работы является исследование влияния ионно плазменной обработки в вакууме на топологию эластичного материала.
В результате проведенных исследований топологии эластомера выявлено, что ионная обработка эластичного материала может увеличить шероховатость поверхности, делает ее более развитой. При обработке в плазме аргона имеются более широкие и глубокие впадины, чем при обработке автономным источником ионов. Поэтому на данном этапе исследования ионно-лучевая обработка показывает себя лучше, так как шероховатость эластомера не становится слишком большой, а достигнутая развитость поверхности положительно влияет на адгезию последующих слоев металлизации.
Ion-plasma vacuum treatment of elastic materials
Sidorova S.V., A.A. Felde, P.A. Yezhova
Keywords: ion processing, plasma, elastomer, elastic materials, atomic force microscopy
