Основы обезгаживания СВВ оборудования различными методами
Емельяненко Р.О., Копытов Д.В., Деулин Е.А., Ханбеков И.Ф., Веренкова Ю. А.
Ключевые слова: обезгаживание, термическая обработка, ультразвуковая обработка, трибологическая обработка, кристаллическая решётка
Аннотация
На сегодняшний день актуальна проблема повышения количества годных изделий при производстве электро-вакууумных приборов. Исследование методов обезгаживания СВВ борудования может позволить уменьшить вероятность отказов, а также ускорить этот достаточно продолжительный процесс. Развивая традиционно используемое в вакуумной технике понятие "обезгаживание" можно получить как минимум три вариации физических моделей процессов обезгаживания, добавляя к традиционно используемому термическому - ультразвуковой и трибологический высокочастотные методы.Показательно, что физическая основа всех трех методов на атомарном уровне одинакова – это увеличение суммарного количества "попыток" преодоления растворенными атомами энергетических барьеров кристаллических решеток материала (при стабильной вероятности). Результат (поток газа) оказывается пропорциональным количеству "попыток", но не "вероятности".
Работа выполнена в рамках продолжения тематики диссертации к.т.н. И.Ф.Ханбекова.
Outlines of degassing of uhv equipment by various methods
R.O.Emelianenko, D.V.Kopytov, E.A.Deulin, I.F.Khanbekov, Yu.A. Verenkova
Keywords: outgassing, heat treatment, ultrasonic treatment, tribological treatment, crystal lattice
