Структурные особенности простых и сложных оксидов в системе IN–GA–ZN–SN–O

Ключевые слова: простые и сложные оксиды, прозрачные слои, аморфизация

Аннотация

Выполнены исследования процессов формирования функциональных прозрачных cлоев на основе оксидных систем Zn–Sn–O и In–Ga–Zn–Sn–O. Изучено влияние легирования оловом на аморфизацию простых и многокомпонентных функциональных оксидов прозрачной электроники.

Keywords: simple and complex oxides, transparent layers, amorphization

Abstract

The processes of formation of functional transparent layers based on oxide systems Zn–Sn–O and In–Ga–Zn–Sn–O have been studied. The performed studies of the effect of Sn addition on the amorphization of ZnO thin films, as well as films based on a more complex In–Ga–Zn–O system, are of interest for the further development of transparent electronics.