Влияние параметров межступенчатого канала на откачную характеристику комбинированного турбомолекулярного насоса

Ключевые слова: турбомолекулярный насос, молекулярный насос, проводимость канала, объемный поток газа, канал с движущимися стенками, откачная характеристика, сопротивление, течение газа.

Аннотация

Исследовано влияние геометрических и динамических параметров межступенчатого канала на откачную характеристику комбинированного турбомолекулярного насоса в молекулярном режиме течения газа. Приведено сравнение откачных характеристик системы на базе комбинированного турбомолекулярного насоса, полученных при расчетах с учетом канала и без канала. Определены границы эффекта, оказываемого межступенчатым каналом на процесс откачки комбинированной проточной частью. Результаты исследования и рекомендации позволяют расширить диапазон рабочих давлений комбинированного турбомолекулярного насоса.

Keywords: turbomolecular pump, molecular drag pump, channel conductivity, volumetric gas flow, moving walls channel, pumping speed, resistance, gas flow.

Abstract

The influence of the geometric and dynamic parameters of the interstage channel on a combined turbomolecular pump performance in the molecular gas flow regime has been studied. A comparison of the pumping characteristics of a system based on a combined turbomolecular pump obtained from calculations with and without a channel is made. The boundaries of the effect exerted by the interstage channel on the pumping process by the combined flow path are determined. The results of the study and recommendations make it possible to expand the operating pressure range of the combined turbomolecular pump.