Применение теории последовательных реакций для описания технологии откачки импульсных магнетронов малой мощности

Ключевые слова: магнетрон, вакуумная откачка, масс-спектрометр, поверхностная термодесорбция, объемная диффузионная термодесорбция, последовательные реакции, металло-кислородные тетраэдры, кварц

Аннотация

Проведенное    измерение температурной зависимости парциального давления термодесорбционного молекулярного водорода при откачке нагреваемого со скоростью 10 град/мин образца монокристаллического кварца выявило две группы зависимостей. Первая группа – давление поверхностного термодесорбционного молекулярного водорода, вторая группа - давление объемного диффузионного термодесорбционного молекулярного водорода. Первая и вторая группы характеризуют ряд последовательных реакций, совокупность которых является экспериментальным сопровождением технологии откачки корпуса магнетрона.

Keywords: magnetron, vacuum pumping, mass spectrometer, surface thermal desorption, bulk diffusion thermal desorption, sequential reactions, metal-oxygen tetrahedra, quartz

Abstract

The article describes the measurement of the temperature dependence of the partial pressure of thermodesorption molecular hydrogen during vacuum pumping of a single-crystal quartz sample heated at a speed of 10 deg/min. It revealed two groups of dependencies. The first group is the pressure of surface thermodesorption molecular hydrogen, the second group is the pressure of bulk diffusive thermodesorption molecular hydrogen. The first and second groups characterize a series of sequential reactions, the totality of which is an experimental accompaniment to the technology of vacuum pumping the magnetron housing.