Исследование параметров рельефа наноструктурированных фторуглеродных покрытий, сформированных из плазмообразующей смеси C4F8+C6H12 на полиэтилентерефталате

Ключевые слова:

Аннотация

В работе приводится сравнительный анализ параметров рельефа (Rq) наноструктурированных фторуглеродных поверхностей, сформированных на поверхности ПЭТФ из плазмообразующих смесей CF4+C6H12 и C4F8+C6H12. Измерение параметров рельефа проводилось с помощью сканирующего зондового микроскопа SolverNext (NTMDT, г.Зеленоград) с АСМ головкой. Было установлено исходя из анализа скоростей нанесения фторуглеродного покрытия с помощью микроскопа МИИ-4 наличие области переходных процессов при использовании плазмообразующей смеси C4F8 + C6H12. Исследование среднеквадратического отклонения шероховатости поверхности полученных фторуглеродных покрытий подтвердило наличие области переходных процессов при использовании плазмообразующей смеси C4F8 + C6H12.

Keywords:

Abstract

The paper compares the relief parameters (Rq) of nanostructured fluorocarbon surfaces formed on the surface of PET from the plasma-forming mixtures CF4 + C6H12 and C4F8 + C6H12. Measurement of the relief parameters was carried out using a scanning probe microscope Solver Next (NT MDT) with an AFM head. The presence of the region of transient processes when using the plasma-forming mixture C4F8 + C6H12 was established on the basis of the deposition rates analysis of the fluorocarbon coating with the help of the microscope MII-4 The study of the root-mean-square deviation of the surface roughness of the obtained fluorocarbon coatings confirmed the presence of the region of transient processes using the plasma-forming mixture C4F8 + C6H12.