Системы автоматического оптического контроля для стабильного производства оптических структур с числом слоев до 150 в согласованном стеке

Ключевые слова:

Аннотация

Уже свыше 20 лет группа компаний «Изовак» работает в области создания высокоточных оптических покрытий. Накопленный опыт позволил создать уникальный по своим характеристикам комплекс оптического контроля и управления, который позволяет воспроизводимо получать сложные многослойные оптические стэки. Комплекс оптического контроля OCP Broadband является легко интегрируемым решением и позволяет контролировать процессы нанесения всех видов оптических покрытий на различных типах вакуумного технологического оборудования в полностью автоматическом режиме в широком оптическом диапазоне с разрешением до 0.3 нм. Программа управления анализирует реальный спектр покрытия в тесной связке с рассчитанным рецептом и определяет точку остановки для каждого слоя. Интеграция с напылительными контроллерами вакуумной установки позволяет реализовать процесс напыления покрытия от начала и до конца полностью автоматически. Также, при необходимости, программа может проводить оптимизацию расчета последующих слоев и изменять рецепт в режиме «онлайн» для получения наилучшего совпадения финального покрытия с расчётным

Keywords:

Abstract

The IZOVAC group has been working in the area of precision thin film optical coatings deposition for more than 20 years. Accumulated experience allowed us to create an optical monitoring complex with unique parameters to obtain sophisticated multilayer optical stacks. The developed OCP (Optical Coating Provider) Broadband is an easily integrated hardware and software solution which provides fully automatic control over all types of optical coatings deposition for different vacuum equipment in a wide optical range with spectral resolution up to 0.3nm. A software algorithm analyzes measured spectrum based on the optical design of required coating and computes a breakpoint for each layer. Close integration with various PLC and Deposition Controllers of vacuum equipment makes it possible to realize optical deposition process automatically from the beginning to the end. Moreover, to obtain high level quality and manufacturing yield of the desired coating OCP Broadband performs design optimization for all remaining layers and applies changes online if necessary.