Модернизация магнитной системы жидкофазного магнетрона для повышения мощности разряда

Ключевые слова:

Аннотация

В статье предложен метод сравнения магнитных систем магнетрона для процесса жидкофазного магнетронного распыления. Проведено компьютерное моделирование существующей и разработанной систем, а также проведен эксперимент по сравнению магнитных
систем по мощности разряда. Определено, какие характеристики магнитной системы оказывают большее влияние на значение мощности разряда

Keywords:

Abstract

The method of magnet systems comparison for magnetron sputtering process with liquid-phase target has been proposed. A computer simulation of the existing and proposed systems has been carried out, as well as an experiment comparing magnetic systems due to their discharge power. The characteristics of the magnetic system are determined which produce a greater effect on the value of the discharge power.