Исследование геометрических характеристик многослойных антиадгезионных фторуглеродных наноструктур, сформированных на поверхности политетрафторэтилена и полиэтилентерефталата

Ключевые слова:

Аннотация

В настоящей работе приведены результаты исследований параметров шероховатости фторуглеродных покрытий, полученных при помощи вакуумных ионноплазменных процессов. Подтверждено наличие области переходных процессов при формировании фторуглеродных пленок с использованием плазмообразующей смеси CF4 + C6H12 на различных модельных полимерных материалах. Образование указанной области сопровождается формированием рельефа особого типа, содержащего близко расположенные выступы. Энергия и рельеф поверхности многослойных структур зависят от условий формирования и геометрических характеристик используемых слоев, а также от последовательности их расположения, что позволяет конструировать барьерные слои для конкретных задач

Keywords:

Abstract

The results of study of roughness parameters for fluorocarbon coatings obtained by vacuum ion-plasma processes are under discussion. The presence of the area of transient processes is confirmed during the formation of fluorocarbon films by means of plasma forming mixture CF4 + C6H12 on the surface of different model polymers. The formation of mentioned area was accompanied by organization of special type of relief. Energy and surface relief of multilayer structures depend upon formation conditions and geometric characteristics of the used layers as well as upon the sequence of their arrangement which allow to construct barrier layers for concrete problems.