Оценка потока нейтральных атомов в каналовых лучах тлеющего разряда методом физической кинетики

Ключевые слова:

Аннотация

Представлены результаты расчётов спектров скоростей ионов и нейтральных атомов после перезарядки (нейтрализации) ионов в канальных лучах тлеющего разряда в аргоне и параметров потоков этих частиц. При pd, соответствующих области левее левой
ветви кривой Пашена, и напряжении в несколько киловольт поток нейтралов, формирующийся в слое катодного падения напряжения, в несколько раз превышает поток ионов и может применяться в технологии обработки оптических метаматериалов.

Keywords:

Abstract

Calculation results of velocity spectra of ions and neutral atoms in the channel beams of argon glow discharge and parameters of these particle flows are presented. The neutral flow formed in the cathode voltage fall exceeds by several times the ion flow and may be used for treatment of optical metamaterials.