Вы здесь

Программа 12-й международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология»

11 апреля 2017 г.

10:15 - Пленарные доклады

Российская вакуумная техника и технология. С.Б.Нестеров. РНТВО им. академика С.А.Векшинского, Москва.

10:30 - Секция 1. Вакуумные технологии и оборудование

  1. Диффузионные вакуумные насосы. Вчера. Сегодня. Завтра. Е.Н.Капустин, А.С.Данилин, Ф.Д.Путиловский. АО «Вакууммаш»,  Казань.
  2. Опыт создания и перспективы развития  отечественных безмасляных спиральных вакуумных насосов. А.В.Бурмистров, С.И.Саликеев, В.А.Аляев, *Е.Н.Капустин. КНИТУ, Казань, * АО «Вакууммаш», Казань.
  3. Особенности расчета обратных перетеканий в щелевых каналах безмасляных спиральных вакуумных насосов. А.В. Бурмистров, Р.Р. Якупов, А.А. Райков, С.И. Саликеев. КНИТУ,  Казань.
  4. Управление реакционным объемом в установках, предназначенных для плазменной обработки порошков в условиях низкого вакуума. Т.М.Васильева, Йе Хлайнг Тун, М.Н.Васильев. МФТИ, г. Долгопрудный, Московская обл.
  5. Технология металлизации CVD алмаза перед пайкой с металлической арматурой гиротрона. К.С.Косарева, Р.А.Каракулов,  Ю.В.Панфилов. МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.
  6. Классификация характеристик методов и средств испытаний на герметичность. C.А.Бушин. ФГУП «ВНИИА им. Н.Л.Духова», Москва.
  7. Применение акустически стимулированной термодесорбции в производстве электровакуумных СВЧ приборов. И.Ф.Ханбеков, И.П.Ли, В.С.Петров, В.П.Михайлов. ОАО «Плутон», Москва, *МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.
  8. Вакуумметрическая редукционная установка для государственного первичного специального эталона единицы абсолютного давления в диапазоне 1∙10-6 - 1∙103 Па. Д.М.Фомин, А.А.Чернышенко. ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева», Санкт-Петербург.
  9. Откачные параметры молекулярно-вязкостного вакуумного насоса. Е.В.Свичкарь, Н.К.Никулин. МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва.
  10. Энергетические аспекты повышения надёжности герметизации сверхвысоковакуумных коммутационных устройств. А.Е.Вязовецкова, В.В.Вязовецков. НИЦ «Курчатовский институт», Москва.
  11. Влияние напряжения между электродами разрядной камеры и плотности разрядного тока на микротвердость модифицированного слоя стали 40х. В.М.Шулаев, И.М.Пастух, Г.Н.Соколова, И.Ф.Михайлов, С.В.Суровицкий. НПП «НИТТИН», г.Белгород.
  12. Порядок калибровки, поверки течеискателей и аттестации специалистов неразрушающего контроля. М.Л.Виноградов, Д.К.Кострин. СПбГЭТУ «ЛЭТИ», Санкт-Петербург.
  13. Вакуумно-дуговое технологическое оборудование. Д.К.Кострин,  *А.А.Лисенков, В.Д.Гончаров, М.Л.Виноградов. СПбГЭТУ «ЛЭТИ», Санкт-Петербург *Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург.
  14. Конкурентоспособное отечественное оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии материалов А3В5. А.Н.Алексеев. ЗАО «НТО», Санкт-Петербург.
  15. Установка вакуумного реактивного ионного травления алюминиевой металлизации Плазма ТМ 8. В.М.Долгополов, П.А.Иракин, В.В.Одиноков, В.В.Панин, А.В.Шубников. ОАО «НИИТМ». Москва, Зеленоград.
  16. Отработка технологии металлизации керамических подложек двумя методами. Л.Л.Колесник, Мьо Чжо Хлаинг, Зао Пхо Аунг. МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва.
  17. Нанесение металлических покрытий магнетроном с горячим катодом. Л.Л.Колесник, П.В.Предтеченский, Т.С.Жулева. МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва.
  18. Разработка технологии изготовления тонкопленочных покрытий для абсорберов солнечной энергии. Е.Н.Галаганова.  МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва.
  19. Трехроторный вакуумный насос. В.В.Мишнаевский, С.Б.Нестеров. РНТВО им. академика С.А.Векшинского. Москва.
  20. Пучково-плазменная обработка стоматологических пластмасс в низком вакууме. Аунг Мьят Хейн, В.А.Мясников. МФТИ, г. Долгопрудный, Московская обл.

14:30 - Секция 2. Новые технологии формирования тонких пленок. Методики и исследования. Технологическое оборудование

  1. Исследование свойств медных пленок, полученных методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени. М.В.Макарова, К.М.Моисеев. МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.
  2. Разработка оборудования для получения многослойных функциональных покрытий, методом магнетронного распыления. Н.И.Сушенцов, С.А.Степанов, Д.Е.Шашин. Поволжский государственный технологический университет, г.Йошкар-Ола.
  3. Оценка потока нейтральных атомов в каналовых лучах тлеющего разряда методом физической кинетики. А.И.Кузьмичёв, *О.Д.Вольпян, **Ю.А.Обод. НТУУ «Киевский политехнический институт», Украина, Киев, *ООО “НПП Фотрон-Авто”, Москва, **МТУ “МИРЭА”, Москва.
  4. Технология пучков быстрых нейтральных частиц: методы диагностики атомарных пучков. В.П.Кудря, Ю.П.Маишев. Физико-технологический институт РАН, Москва.
  5. Формирование ультратонких медных пленок с помощью сильноточного импульсного магнетронного распыления. В.О.Оскирко, В.А.Семенов, А.П.Павлов, С.В.Работкин. ИСЭ СО РАН, «Прикладная Электроника», Томск.
  6. Магнетронно-лазерное осаждение диэлектрических покрытий с наноразмерными металлическими частицами. А.П.Бурмаков, В.Н.Кулешов. Белорусский государственный университет, Минск.
  7. Особенности элементного анализа материалов и пленочных покрытий ионно-пучковыми диагностическими методами. В.К.Егоров, Е.В.Егоров, *М.С.Афанасьев. ИПТМ РАН, Черноголовка, Московская обл., *ИРЭ РАН, Фрязино, Московская обл.
  8. Влияние конструктивных особенностей катодного узла на изменение количественного элементного состава формируемого покрытия. Л.М.Петров, *К.В.Григорович, В.В.Зеленков,*Г.С.Спрыгин, В.Д.Семенов, *Я.Я.Химюк. ОАО «НИАТ», Москва, *ФГБУН  Институт металлургии и материаловедения им. А.А.Байкова РАН, Москва.
  9. Влияние рабочей газовой среды на изменение элементного состава формируемого покрытия. Л.М.Петров, *К.В.Григорович, В.В.Зеленков, *Г.С.Спрыгин, А.Н.Смирнова, В.Д.Семенов, *Я.Я.Химюк, Д.М.Дормидонтов. ОАО «НИАТ», Москва, *ФГБУН Институт металлургии и материаловедения им. А.А.Байкова РАН, Москва.
  10. Решения МГТУ им. Н.Э.Баумана и компании «НПП» «УВН» для тонкопленочной технологии оптической и электронной промышленности. Д.В.Духопельников, Д.В.Кириллов, Е.В.Воробьев, С.Г.Ивахненко, В.С.Булычев, В.А.Рязанов, О.И.Афонин. МГТУ им. Н.Э. Баумана, Научно-производственное предприятие «УВН», Москва.
  11. Изменение количественного элементного состава формируемого покрытия в зависимости от размещения обрабатываемой поверхности относительно рабочей плоскости катода. Л.М.Петров, *К.В.Григорович, В.В.Зеленков, *Г.С.Спрыгин, А.Н.Смирнова, В.Д.Семенов, Я.Я.Химюк. ОАО «НИАТ», Москва, *ФГБУН Институт металлургии и материаловедения им. А.А.Байкова РАН, Москва.
  12. Синтез трубчатых мишеней TiOx  для магнетронного осаждения функциональных слоев низкоэмиссионных покрытий. А.Х.Абдуев, А.Ш.Асваров,  А.К.Ахмедов, *К.Ш.Рабаданов, **Р.М.Эмиров, ***С.П.Ващенко, ***И.П.Гуляев, ***В.И. Кузьмин, ***Д.В.Сергачёв. Институт физики  Дагестанского научного центра РАН, Махачкала, *Дагестанский научный центр РАН, Аналитический центр коллективного пользования, Махачкала, **Дагестанский государственный университет, Махачкала, ***Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича СО РАН, Новосибирск.
  13. Условия структурного упорядочения слоев Zn и ZnO при магнетронном осаждении. А.Х.Абдуев, А.К.Ахмедов, А.Ш.Асваров, *В.В.Беляев, **Ф.И.Высикайло. Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН, Махачкала, *Московский государственный областной университет, Москва, **Московский радиотехнический институт РАН, Москва.
  14. Формирование структурной стабильности осаждаемых покрытий системы ti-n в процессах вакуумно-ионноплазменной обработки. Л.М.Петров, *К.В.Григорович, В.В.Зеленков, *Г.С.Спрыгин, А.Н.Смирнова, *Я.Я.Химюк,  Д.М.Дормидонтов. ОАО «НИАТ», Москва. *ФГБУН  Институт металлургии и материаловедения им. А.А.Байкова  РАН, Москва.
  15. Электронно-пучковое модифицирование поверхности материалов. С.В.Федоров, Мин Хтет Со. ФГБОУ ВО МГТУ «СТАНКИН», Москва.
  16. Композиционный материал ГА/ОГ, полученный методом искрового плазменного спекания, для применения в качестве мишени для магнетронного распыления. Н.Ю.Перетягин, С.В.Федоров. ФГБОУ ВО МГТУ «СТАНКИН». Москва.
  17. Экспериментальное исследование плотности потока пучков быстрых нейтральных частиц методом пьезокварцевых резонаторов. Ю.П.Маишев, С.Л.Шевчук, В.П.Кудря. ФГБУН Физико-технологический институт РАН, Москва.
  18. Влияние легирования углеродного покрытия-ориентанта кремнием, молибденом и вольфрамом на антифрикционные свойства полиальфаолефинового масла ПАО-4. Е.А.Митрофанов, С.Б.Симакин, *А.Н.Большаков, *И.А.Буяновский, **В.Н.Матвеенко, **В.А. Левченко. ОАО «НИИВТ им. С.А.Векшинского». Москва, *ИМАШ РАН, Москва, ** Химфак МГУ имени Ломоносова, Москва.
  19. Физические и физико-химические свойства металл-фуллереновых пленок, полученных вакуумными технологиями. Э.М.Шпилевский, С.А.Филатов, *П.Тувшинтур , *Г.Шилагард. Институт тепло- и массообмена им. А.А. Лыкова НАН Беларуси, Минск, Беларусь, *Национальный университет Монголии, Улан-Батор, Монголия.

12 апреля 2017 г.

10:15 - Секция 3. Нанотехнология и биотехнология

  1. Осаждение пленок полимера на поверхности полипропиленовой трековой мембраны, полученных полимеризацией гексаметилдисилазана в плазме. Л.И.Кравец, В.Ф.Загоненко, Н.Е.Лизунов, *V.Satulu, *B.Mitu, *G.Dinescu. ОИЯИ, Дубна, * NILPRP, Bucharest.
  2. Получение “smart” полимерных мембран прививочной полимеризацией, инициируемой плазмой. Л.И.Кравец, *В.М.Елинсон, **A.Lazea-Stoyanova, **G.Dinescu, ОИЯИ, Дубна, *МАИ (НИУ), Москва, ** NILPRP Bucharest.
  3. Формирование переходного слоя в Si-металл омическом контакте при вакуумной ионно-плазменной обработке. В.В.Пищагин, М.В.Пашков, Б.А.Лысаковский, Д.А.Костромин. АО « ГЗ «Пульсар», Москва.
  4. Системы автоматического оптического контроля для стабильного производства оптических структур с числом слоев до 150 в согласованном стеке. А.А.Турбан, А.М.Артамонов, Е.А.Хохлов, А.С.Мысливец. ООО «Изовак», Минск.
  5. PECVD установки поштучной обработки кремниевых пластин серии labhitiz для формирования гетеропереходов в структурах солнечных элементов HJT. А.А.Ясюнас, Е.А.Хохлов, А.С.Мысливец, С.М.Насточкин, В.Я.Ширипов, *С.Ю.Герасименко, *М.А.Региневич. ООО «Изовак», Минск, *Regher Solar LLC, Tempe AZ 85284, USA.
  6. Комбинированные технологии формирования массивов упорядоченных наноструктур. Г.К. Жавнерко, В.Я. Ширипов. Минск, ООО «Изовак».
  7. Технология формирования вертикально ориентрированных углеродных нанотрубок и графеновых наностенок на металлических фольгах для производства суперконденсаторов. П.А.Розель,  Е.А.Хохлов, В.Я.Ширипов. ООО «ИЗОВАК Технологии», Минск,  Беларусь.
  8. Адгезионные свойства клеевых соединений полимерных пленок, модифицированных в разряде постоянного тока. М.С.Пискарев, А.Б.Гильман, А.С.Кечекьян, А.А.Кузнецов. Москва, ИСПМ им. Н.С. Ениколопова РАН, Минск.
  9. Модифицирование пленок сверхвысокомолекулярного полиэтилена в низкотемпературной плазме. М.С.Пискарев, А.Б.Гильман, А.А.Кузнецов, А.Н.Озерин. ИСПМ им. Н.С. Ениколопова РАН, Москва.
  10. Оптимизация конфигурации мишени установки магнетронного напыления для синтеза тонкопленочного Pt/C  композита для электродов электрохимических сенсоров. Е.А.Медведева, *А.М.Баранов.  ФГУП «СПО «Аналитприбор», Смоленск, *МАИ (НИУ), Москва.
  11. Обработка хитозансодержащих пленок в разряде постоянного тока: свойства поверхности и биосовместимость. Т.С.Демина, *М.Г.Дроздова,*Д.С.Зайцева-Зотова, М.Ю.Яблоков, А.Б.Гильман, *Е.А.Марквичева, Т.А.Акопова, А.Н.Зеленецкий. ИСПМ им. Н.С. Ениколопова РАН, Москва, *Институт биоорганической химии им. М.М.Шемякина и Ю.А.Овчинникова РАН, Москва.
  12. Оптические свойства наноструктурированных фторуглеродных пленок и многослойных пленочных структур. С.В.Петрунин, В.М. Елинсон,  В.И.Кузькин, О.А.Сильницкая. МАИ (НИУ), Москва.
  13. Алмазоподобные углеродные пленки в автоэмиссионных катодах. В.В. Борисов, *С.А.Багдасарян, **С.А.Налимов. НИИЯФ им. Д.В.Скобельцына МГУ им. М.В.Ломоносова, Москва, * НПО “Технологии радиочастотной идентификации и связи”, Москва,  **АО «ЦНИТИ «Техномаш», Москва.
  14. Влияние условий предварительной ионной обработки полимерных материалов на адгезионные и механические свойства фторуглеродных наноструктур, сформированных на их поверхности. В.М.Елинсон, *С.Г.Андреевская, П.А.Щур, **Д.В.Кириллов, А.Н.Лямин. МАИ (НИУ), Москва, * ФНИЦЭМ им Н.Ф.Гамалеи, Москва, ** МГТУ им. Н.Э.Баумана.
  15. Исследование состава и механических характеристик углеродных и фторуглеродных покрытий, сформированных ионно-плазменными методами при атмосферном давлении. А.Н.Лямин, А.В.Шведов, В.М.Елинсон. МАИ (НИУ), Москва.
  16. Полимерные электреты в пленках политетрафторэтилена, модифицированных в разряде постоянного тока. М.Ю.Яблоков, А.Б.Гильман, А.А.Кузнецов. ИСПМ им. Н.С.Ениколопова РАН, Москва.
  17. Влияние условий предварительной ионной обработки полимерных материалов на адгезионные и механические свойства фторуглеродных наноструктур, сформированных на их поверхности. В.М.Елинсон, *С.Г.Андреевская, П.А.Щур, **Д.В.Кириллов, А.Н.Лямин. «МАИ (НИУ)», Москва, *ФНИЦЭМ им Н.Ф.Гамалеи, Москва, ** МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.
  18. Исследование геометрических характеристик многослойных антиадгезионных фторуглеродных наноструктур, сформированных на поверхности политетрафторэтилена и полиэтилентерефталата. А.Н.Лямин, В.М.Елинсон, В.И.Кузькин, О.А.Сильницкая. МАИ (НИУ),  Москва.
  19. Формирование фотокатода на основе соединения SbCs3 методом послойного нанесения. А.В.Демиденко, Н.А.Пхайко, А.И.Арефьев, А.Г.Казаков, Ю.Л.Лыжина. ФГУП РФЯЦ-ВНИИТФ, Челябинская обл., г. Снежинск.
  20. Применение СВЧ-технологий в лечении врожденных локальных пороков развития сосудов у детей. А.В.Буторина, *Ю.И.Вельская. РНИМУ им. Н.И.Пирогова, Москва, *Детская городская клиническая больница № 13 им. Н.Ф.Филатова, Москва.
  21. Возможность применения СВЧ аппаратуры для медицинских целей. В.Н.Митрохин, *А.В.Буторина,  А.М.Архаров,  В.А.Матвеев. МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва, *РНИМУ им. Н.И.Пирогова, Москва
  22. Тонкопленочные технологии формирования покрытий на поверхности высокопористых рулонных материалов для конденсаторных структур. В.В.Слепцов,  С.Н.Куликов,  Д.Ю.Кукушкин,  Ву Дык Хан, Р.А.Цырков. МАИ (НИУ), Москва.

13.30 - Презентация оборудования и технологий

  1. Возможности импортозамещения в области ВТО: сравнительные характеристики отечественного ВТО и ВТО EU, USA и Японии. В.Я.Ширипов. ООО «ИЗОВАК», Минск, Беларусь.

  2. Разработка и производство специального технологического оборудования как ключевая компетенция инновационного развития. А.Х. Хисамов. ООО «СТРАТНАНОТЕК», Минск, Беларусь.

14.15 - Секция 4. Вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс

  1. К вопросу проектирования оборудования для наземной тепловакуумной отработки космической техники. Е.Н.Капустин, Н.В.Куксова, О.Р.Чернышев, *С.Б.Нестеров, **Е.В.Жировов. АО «Вакууммаш», Казань, *РНТВО им. академика С.А.Векшинского, Москва, ** ЗАО «Криогенмонтаж», Москва.
  2. Опыт создания криотермовакуумных установок и имитационных комплексов для тепловакуумной отработки и испытаний аэрокосмической техники. В.Г.Самоделов, А.К.Дедков, Г.Н.Левдик, Г.Ю.Цфасман, Е.В.Чубаров. ООО «Криомаш-БЗКМ», г. Балашиха, Московская обл.
  3. Применение метода трассировки лучей при моделировании тепловакуумных испытаний космического аппарата с использованием имитатора солнечного излучения. А.А.Филатов, С.Б.Нестеров. РНТВО  им. академика С.А.Векшинского, Москва.
  4. Экспериментальные исследования воздухозаборника в высокоскоростном потоке газа. А.И.Ерофеев, А.П.Никифоров, В.В.Плугин, ФГУП «ЦАГИ им. Н.Е.Жуковского», г. Жуковский, Московская обл.
  5. Повышение чувствительности масс-спектрометрического метода течеискания способом «щупа». Е.В.Жировов, В.А.Кобзев, О.Е.Чубаров, *А.В.Ципун. ЗАО «Криогенмонтаж», Москва, *МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.
  6. Влияние методов обезжиривания поверхностей конструкционных материалов на скорость газовыделения в вакууме. В.Г.Самоделов, А.К.Дедков, О.Е.Чубаров. ООО «Криомаш- БЗКМ», г. Балашиха, Московская обл.
  7. Новая продукция компании «ТЕРЛА». Ю.К.Васильев, ООО «ТЕРЛА», Москва.

15.45 - Секция 5. Вакуумно-левитационные транспортные системы

  1. Определение сферы применения вакуумно-левитационной транспортной системы на рынке транспортных услуг. Б.М.Лапидус, *Р.О.Кондратенко. ОАО «РЖД», Москва, *ОАО «НИИВТ им. С. А.Векшинского», Москва.
  2. О научном обосновании технико-технологических требований к вакуумно-левитационной транспортной системе (ВЛТС). Р.О.Кондратенко, С.Б.Нестеров, *А.Н.Белоконев, А.И.Холопкин. ОАО «НИИВТ им. С.А.Векшинского», Москва,  *РКК «Энергия», Москва.

16.15 - Секция 6. Криогенная и криовакуумная техника

  1. Применение монодисперсных гранул в регенеративном теплообменнике криогенной газовой машины Гиффорда-Мак-Магона. В.Б.Анкудинов, Ю.А.Марухин, В.П.Огородников, В.А.Рыжков.  МЭИ (НИУ), Москва.
  2. Оценка максимальной разности температур создаваемой вакуумным туннельным диодом (ВТД) в режиме охлаждения. С.Б.Нестеров, А.И.Холопкин, Р.О.Кондратенко. ОАО «НИИВТ им. С.А.Векшинского», Москва.
  3. Криовоздействие при буллёзно-некротическом рожистом воспалении нижних конечностей. С.С.Маскин, Л.А.Иголкина, А.В.Павлов, *А.В.Буторина, **С.Б.Нестеров,**Р.О.Кондратенко. Волгоградский государственный медицинский университет, Волгоград, *РНИМУ им. Н.И.Пирогова, Москва, **РНТВО им. академика С.А.Векшинского, Москва.

Вы можете скачать полную программу конференции в формате PDF.