Исследование процессов магнетронного синтеза многослойных структур на основе системы ZNO-SNO2

Ключевые слова: ZnO, SnO2, мишень, самоорганизация, ионная бомбардировка, плазма.

Аннотация

Изучены структурные особенности слоев, синтезированных при магнетронном распылении металлической мишени Zn–Sn, керамической мишени ZnO–SnO2    и металлокерамической мишени (ZnO–SnO2)+10 вес.%(Zn–Sn) при температурах подложек 50 и 200ºС. Обнаруженоявление самоорганизациипри магнетронномраспылениимишеней Zn–Sn и (ZnO–SnO2)+10 вес.%(Zn–Sn). Исследовано поведение промежуточных слоев металла (Me: Zn или Sn) в структурах ZnO/Me/ZnO. Рассмотрены возможные механизмы формирования периодических структур.

Keywords: ZnO, SnO2, coalescence, target, self-organization, ion bombardment, plasma.

Abstract

The structural features of the zinc-tin oxide layers synthesized at substrate temperatures of 50 and 200°C by magnetron sputtering of a Zn–Sn metal target, a ZnO–SnO2 ceramic target, and a cermet target (ZnO–SnO2)+10 weight %(Zn–Sn) were studied. The phenomenon of self-organization was found during magnetron sputtering of the Zn–Sn and ((ZnO–SnO2)+10 weight %(Zn–Sn) targets. The behavior of the intermediate layers of the metal (Me: Zn or Sn) in the ZnO / Me / ZnO structures has been investigated. Possible mechanisms of the formation of periodic structures are considered.