Зависимость параметров импульсного блока питания от коэффициента заполнения импульсного сигнала и частоты импульсов

Ключевые слова:

Аннотация

В статье рассмотрены параметры импульсного блока питания, такие как скорость осаждения материала, средний токи напряжение разряда, пиковый ток и мощность, в зависимости от коэффициента заполнения импульсного сигнала и частоты импульсов при импульсном магнетронном распылении.

Keywords:

Abstract

Parameters of the pulsed power supply unit are reviewed: the deposition rate of the material, the average current, the discharge voltage, the peak current, the peak power according of the duty ratio of the pulse signal and the pulse frequency by pulsed magnetron sputtering.