Откачные параметры молекулярно-вязкостного вакуумного насоса
Никулин Н.К., Свичкарь Е.В.
Ключевые слова:
Аннотация
В данной статье представлено описание экспериментального стенда для определения откачных характеристик молекулярно-вязкостного вакуумного насоса в переходном и вязкостном режимах течения газа. Экспериментальные данные получены для проточнойчасти молекулярно-вязкостного вакуумного насоса с трапецеидальным каналом с целью дальнейшего выявления влияния геометрических и скоростных параметров проточной части насоса на его быстроту действия и отношение давлений, создаваемое проточной частью
насоса.
Pumping parameters of the molecular-viscous vacuum pump.
Nikulin N.K., E.V.Svichkar
Keywords: