Откачные параметры молекулярно-вязкостного вакуумного насоса

Никулин Н.К., Свичкарь Е.В.
Ключевые слова:

Аннотация

В данной статье представлено описание экспериментального стенда для определения откачных характеристик молекулярно-вязкостного вакуумного насоса в переходном и вязкостном режимах течения газа. Экспериментальные данные получены для проточной
части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса с трапецеидальным каналом с целью дальнейшего выявления влияния геометрических и скоростных параметров проточной части насоса на его быстроту действия и отношение давлений, создаваемое проточной частью
насоса.

Pumping parameters of the molecular-viscous vacuum pump.

Nikulin N.K., E.V.Svichkar
Keywords:

Abstract

The experimental stand to determine the pumping characteristics of molecular-viscous vacuum pump in the transitional and viscous flow regimes of gas is described. Experimental data are obtained for the flow part of the molecular-viscous vacuum pump with trapezoidal channel to further determine the effect of the geometrical and velocity parameters of the flow part of the pump on its pumping speed and the pressure ratio generated by this part of the pump